Korrelationsmessplatz

Die Equinox ist ein vollständig automatisiertes System zur Bestimmung von thermischen Deformationen und Dehnungen in Halbleiterbauelementen und Materialien.

Mit den verfügbaren Genauigkeiten erhält man ein komplexes Verständnis der thermischen Eigenschaften von komplexen Strukturen.

Die Anlage nutzt hierzu die Digital Image Correlation Technologie um die hohen Messauflösungen zu erreichen.

Die Equinox eignet sich dadurch als vorzügliches Fehleranalyse-Werkzeug zur Analyse von spezifischen Fehlermodi und zur Bestimmung notwendiger Präventionen.

Technische Daten

Probengeometrie:

Out-Of-Plane: Länge max.: 50 mm;

Breite max.: 60 mm; Dicke max.: 10 mm

In-Plane: Länge max.: 60 (45) mm;

Breite max.: 40 (17) mm; Dicke max.: 8 mm

Anwendungsgebiete:

Packagedesign, Fehleranalyse, Verifikation von FE Modellen

Deformationsmodus:

Benutzerdefinierte Temperaturprofile mit beliebiger Wiederholung

Messmodi:

In-Plane Deformation und Strain, Out-Of-Plane Verbiegung. CTE Bestimmung

Temperaturbereich:

-65°C … 350°C

Temperaturstabilität:

±0,3 K bis 100°C; ±0,5 K bis 200°C; ±0,8 K bis 350°C

Heiz- und Kühlraten:

0,1 K/h … 50 K/h